发明申请
- 专利标题： Inclined carrier transferring apparatus
- 专利标题（中）： 倾斜载体传送装置
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申请号： US11454730申请日： 2006-06-16
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公开(公告)号： US20060289306A1公开(公告)日： 2006-12-28
- 发明人: Sung Kim , Tae Lim , Kwang Yoo , Byung Yun , Yang Moon
- 申请人： Sung Kim , Tae Lim , Kwang Yoo , Byung Yun , Yang Moon
- 专利权人： LG PHILIPS LCD CO., LTD.,AVACO CO., LTD.,LG ELECTRONICS INC.
- 当前专利权人： LG PHILIPS LCD CO., LTD.,AVACO CO., LTD.,LG ELECTRONICS INC.
- 优先权： KR53987/2005 20050622
- 主分类号： C23C14/00
- IPC分类号： C23C14/00
摘要：
An inclined carrier transferring apparatus for use inline sputtering equipment. The inclined carrier transferring apparatus includes rollers and a guiding portion. The rollers transfer and support the bottom of a carrier. The guiding portion is installed diagonally with respect to the rollers, to support the top of the carrier in a non-contact manner.
公开/授权文献
- US08007644B2 Inclined carrier transferring apparatus 公开/授权日：2011-08-30
信息查询
IPC分类:
