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发明申请
US20070066061A1 Organic aluminum precursor and method of forming a metal wire using the same 失效
有机铝前体和使用其形成金属丝的方法

Organic aluminum precursor and method of forming a metal wire using the same
摘要：
An organic aluminum precursor includes aluminum as a central metal, and borohydride and trimethylamine as ligands. In a method of forming an aluminum layer or wire, the organic aluminum presursor is introduced onto a substrate, and then thermally decomposed. The aluminum decomposed from the organic aluminum precursor is deposited on the substrate.
摘要（中）：

有机铝前体包括铝作为中心金属，硼氢化物和三甲胺作为配体。 在形成铝层或线材的方法中，将有机铝前驱体引入到基板上，然后热分解。 从有机铝前体分解的铝沉积在基材上。

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