发明申请
- 专利标题： COLLECTOR FOR AN ILLUMINATION SYSTEM
- 专利标题（中）： 收集器用于照明系统
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申请号： US11781010申请日： 2007-07-20
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公开(公告)号： US20080018876A1公开(公告)日： 2008-01-24
- 发明人: Ralf Stuetzle , Udo Dinger
- 申请人： Ralf Stuetzle , Udo Dinger
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： CARL ZEISS SMT AG
- 当前专利权人： CARL ZEISS SMT AG
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 优先权： DE102006034059.0 20060720; DE102007004237.1 20070123
- 主分类号： G03B27/54
- IPC分类号： G03B27/54 ; G02B19/00
摘要：
Collectors with mirror shells arranged inside each other, illumination systems equipped with such collectors, projection exposure apparatuses equipped with such illumination systems, methods of manufacturing microelectronic components with such projection exposure apparatuses, and related systems, components and methods are disclosed.
公开/授权文献
- US07910900B2 Collector for an illumination system 公开/授权日：2011-03-22
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