Antireflective Coating Compositions

发明申请

US20080153035A1 Antireflective Coating Compositions 失效

标题翻译：防反射涂料组合物

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专利标题： Antireflective Coating Compositions
专利标题（中）： 防反射涂料组合物
申请号： US11613410

申请日： 2006-12-20
公开(公告)号： US20080153035A1

公开(公告)日： 2008-06-26
发明人: David Abdallah , Francis Houlihan , Mark Neisser
申请人： David Abdallah , Francis Houlihan , Mark Neisser
主分类号： G03F7/038
IPC分类号： G03F7/038 ; G03F7/039 ; G03F7/26

摘要：

The present invention discloses novel bottom anti-reflective coating compositions where a coating from the composition has an etch rate that can be regulated by the etch plate temperature.

摘要（中）：

本发明公开了新型底部抗反射涂层组合物，其中来自组合物的涂层具有可通过蚀刻板温度调节的蚀刻速率。

公开/授权文献

US07759046B2 Antireflective coating compositions 公开/授权日：2010-07-20

信息查询

Global Dossier Espacenet

IPC分类:

G	物理
G03	摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术
G03F	图纹面的照相制版工艺，例如，印刷工艺、半导体器件的加工工艺；其所用材料；其所用原版；其所用专用设备（照相排版装置入B41B；为摄影用的感光材料或处理入G03C；电记录、感光层或处理入G03G）
G03F7/00	图纹面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工艺；图纹面照相制版用的材料，如：含光致抗蚀剂的材料；图纹面照相制版的专用设备（用于特殊工艺的光致抗蚀剂结构见相关的位置，例如，B44C，H01L，例如，H01L21/00，H05K）
G03F7/004	.感光材料（G03F7/12，G03F7/14优先）
G03F7/038	..高分子化合物被制备成不溶解的或非均匀可湿的（G03F7/075优先；高分子叠氮化合物入G03F7/012；高分子重氮化合物入G03F7/021）