发明申请
- 专利标题： Method and Apparatus for Ion Milling
- 专利标题（中）： 离子铣削的方法和装置
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申请号： US12138206申请日： 2008-06-12
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公开(公告)号： US20080302657A1公开(公告)日： 2008-12-11
- 发明人: Henry A. Luten , George A. Neuman , Niels Alfred Olesen
- 申请人： Henry A. Luten , George A. Neuman , Niels Alfred Olesen
- 申请人地址： US MI Zeeland
- 专利权人： GENTEX CORPORATION
- 当前专利权人： GENTEX CORPORATION
- 当前专利权人地址： US MI Zeeland
- 主分类号： C23C14/46
- IPC分类号： C23C14/46
摘要：
The present invention relates to methods and apparatus for ion milling, and more particularly relates to methods and apparatus for smoothing a surface using ion milling.
公开/授权文献
- US10017847B2 Method and apparatus for ion milling 公开/授权日：2018-07-10
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