发明申请
- 专利标题： Bottom Antireflective Coating Compositions
- 专利标题（中）： 底部防反射涂料组合物
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申请号： US11876793申请日： 2007-10-23
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公开(公告)号： US20090104559A1公开(公告)日： 2009-04-23
- 发明人: Francis M. Houlihan , Shinjl Miyazaki , Mark O. Neisser , Alberto D. Dioses , Joseph E. Oberlander
- 申请人： Francis M. Houlihan , Shinjl Miyazaki , Mark O. Neisser , Alberto D. Dioses , Joseph E. Oberlander
- 主分类号： G03C1/73
- IPC分类号： G03C1/73 ; C07C55/02 ; C07C59/245 ; C07C59/305 ; G03F7/20 ; C07C61/08 ; C07C63/14 ; C07C63/337
摘要：
Developable bottom antireflective coating compositions are provided.
公开/授权文献
- US08088548B2 Bottom antireflective coating compositions 公开/授权日：2012-01-03
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