发明申请
US20090140445A1 High Throughput Imprint Based on Contact Line Motion Tracking Control
有权
基于接触线运动跟踪控制的高吞吐量压印
- 专利标题： High Throughput Imprint Based on Contact Line Motion Tracking Control
- 专利标题（中）： 基于接触线运动跟踪控制的高吞吐量压印
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申请号： US12327618申请日： 2008-12-03
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公开(公告)号： US20090140445A1公开(公告)日： 2009-06-04
- 发明人: Xiaoming Lu , Philip D. Schumaker
- 申请人： Xiaoming Lu , Philip D. Schumaker
- 申请人地址： US TX Austin
- 专利权人： MOLECULAR IMPRINTS
- 当前专利权人： MOLECULAR IMPRINTS
- 当前专利权人地址： US TX Austin
- 主分类号： B29C43/58
- IPC分类号： B29C43/58
摘要：
Systems and methods for controlling velocity of a contact line and height profile between a template and a substrate during imprinting of polymerizable material are described.
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