发明申请
US20100007866A1 METHOD FOR PRODUCING FACET MIRRORS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
审中-公开
生产面镜和投影曝光装置的方法
- 专利标题： METHOD FOR PRODUCING FACET MIRRORS AND PROJECTION EXPOSURE APPARATUS
- 专利标题（中）： 生产面镜和投影曝光装置的方法
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申请号： US12504844申请日： 2009-07-17
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公开(公告)号： US20100007866A1公开(公告)日： 2010-01-14
- 发明人: Berndt Warm , Siegfried Rennon , Guenther Dengel , Juergen Baier , Udo Dinger , Stefan Burkart , Christos Kourouklis , Hin Yiu Anthony Chung , Stefan Wiesner , Hartmut Enkisch
- 申请人： Berndt Warm , Siegfried Rennon , Guenther Dengel , Juergen Baier , Udo Dinger , Stefan Burkart , Christos Kourouklis , Hin Yiu Anthony Chung , Stefan Wiesner , Hartmut Enkisch
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT AG
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 优先权： DE102007008448.1 20070219
- 主分类号： G03B27/70
- IPC分类号： G03B27/70
摘要：
The disclosure relates to methods for producing mirrors, in particular facet mirrors, and projection exposure apparatuses equipped with the mirrors.
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