发明申请
- 专利标题： Active Sensor Surface and a Method for Manufacture Thereof
- 专利标题（中）： 主动传感器表面及其制造方法
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申请号： US12523347申请日： 2007-10-03
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公开(公告)号： US20100129623A1公开(公告)日： 2010-05-27
- 发明人: Anders Johansson , Mårten Rooth , Mats Boman , Anders Hårsta , Jan-Otto Carlsson
- 申请人： Anders Johansson , Mårten Rooth , Mats Boman , Anders Hårsta , Jan-Otto Carlsson
- 专利权人： NANEXA AB
- 当前专利权人： NANEXA AB
- 优先权： SE0700225-6 20070129
- 国际申请： PCT/SE2007/050702 WO 20071003
- 主分类号： B05D1/36
- IPC分类号： B05D1/36 ; C23C14/34 ; C23F1/00 ; B32B5/16 ; B32B3/10
摘要：
Briefly, the present invention comprises a method of manufacturing a sensor surface structure suitable for but not limited to surface enhanced Raman spectroscopy. The method comprises providing (S1) a nano-structured array template, depositing (S2) a metal oxide on the template, preferably using atomic layer deposition (ALD), depositing (S4) metal nanoparticles on the metal oxide layer, either by electroless deposition or by ALD.
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