公开(公告)号：US20100129623A1

公开(公告)日：2010-05-27

申请号：US12523347

申请日：2007-10-03

申请人： Anders Johansson ,  Mårten Rooth ,  Mats Boman ,  Anders Hårsta ,  Jan-Otto Carlsson

发明人： Anders Johansson ,  Mårten Rooth ,  Mats Boman ,  Anders Hårsta ,  Jan-Otto Carlsson

IPC分类号： B05D1/36 ,  C23C14/34 ,  C23F1/00 ,  B32B5/16 ,  B32B3/10

CPC分类号： G01N21/658 ,  B82Y15/00 ,  B82Y30/00 ,  Y10T428/24893 ,  Y10T428/25 ,  Y10T428/256

摘要： Briefly, the present invention comprises a method of manufacturing a sensor surface structure suitable for but not limited to surface enhanced Raman spectroscopy. The method comprises providing (S1) a nano-structured array template, depositing (S2) a metal oxide on the template, preferably using atomic layer deposition (ALD), depositing (S4) metal nanoparticles on the metal oxide layer, either by electroless deposition or by ALD.

摘要翻译： 简而言之，本发明包括制造适于但不限于表面增强拉曼光谱的传感器表面结构的方法。 该方法包括提供（S1）纳米结构阵列模板，优选使用原子层沉积（ALD）在模板上沉积（S2）金属氧化物，在金属氧化物层上沉积（S4）金属纳米颗粒，方法是通过无电沉积 或ALD。