发明申请
- 专利标题： HYBRID METALLIC WIRE AND METHODS OF FABRICATING SAME
- 专利标题（中）： 混合金属线及其制造方法
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申请号： US12482777申请日： 2009-06-11
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公开(公告)号： US20100314764A1公开(公告)日： 2010-12-16
- 发明人: Chih-Chao Yang , Kaushik Chanda , Daniel Edelstein , Baozhen Li
- 申请人： Chih-Chao Yang , Kaushik Chanda , Daniel Edelstein , Baozhen Li
- 申请人地址： US NY Armonk
- 专利权人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
- 当前专利权人： INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
- 当前专利权人地址： US NY Armonk
- 主分类号： H01L23/535
- IPC分类号： H01L23/535 ; H01L21/768
摘要：
A structure and methods of fabricating the structure. The structure comprising: a trench in a dielectric layer; an electrically conductive liner, an electrically conductive core conductor and an electrically conductive fill material filling voids between said liner and said core conductor.
公开/授权文献
- US07955971B2 Hybrid metallic wire and methods of fabricating same 公开/授权日：2011-06-07
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IPC分类:
