发明申请
- 专利标题： MECHANICAL RESONATING STRUCTURES INCLUDING A TEMPERATURE COMPENSATION STRUCTURE
- 专利标题（中）： 机械共振结构包括温度补偿结构
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申请号： US13290385申请日： 2011-11-07
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公开(公告)号： US20120049965A1公开(公告)日： 2012-03-01
- 发明人: David M. Chen , Jan H. Kuypers , Alexei Gaidarzhy , Guiti Zolfaghakhani
- 申请人： David M. Chen , Jan H. Kuypers , Alexei Gaidarzhy , Guiti Zolfaghakhani
- 申请人地址： US MA Cambridge
- 专利权人： Sand9, Inc.
- 当前专利权人： Sand9, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Cambridge
- 主分类号： H03B28/00
- IPC分类号： H03B28/00 ; H01L41/08
摘要：
Mechanical resonating structures are described, as well as related devices and methods. The mechanical resonating structures may have a compensating structure for compensating temperature variations.
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