发明申请
- 专利标题： BLOCK COPOLYMER SELF-ASSEMBLY METHODS AND PATTERNS FORMED THEREBY
- 专利标题（中）： 嵌段共聚物自组装方法和形成的图案
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申请号： US12916279申请日： 2010-10-29
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公开(公告)号： US20120107583A1公开(公告)日： 2012-05-03
- 发明人: Shuaigang Xiao , XiaoMin Yang , Yuan Xu , Lei Wan
- 申请人： Shuaigang Xiao , XiaoMin Yang , Yuan Xu , Lei Wan
- 主分类号： B32B3/10
- IPC分类号： B32B3/10 ; G03F7/20
摘要：
Patterned substrates templates are provided, as well as methods comprising a combination of lithography and self-assembly techniques. The patterned substrates may comprise first and second patterns.
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