- 专利标题： GAS STORAGE SYSTEMS AND METHOD THEREOF
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申请号： US17550740申请日： 2021-12-14
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公开(公告)号： US20220194804A1公开(公告)日： 2022-06-23
- 发明人: Oleg Byl , Diego Troya , Nathan B. Jones , John R. Morris
- 申请人： ENTEGRIS, INC.
- 申请人地址： US MA Billerica
- 专利权人： ENTEGRIS, INC.
- 当前专利权人： ENTEGRIS, INC.
- 当前专利权人地址： US MA Billerica
- 主分类号： C01B35/02
- IPC分类号： C01B35/02 ; B01J20/10 ; B01J20/34 ; C01B33/12 ; F17C11/00 ; B01D53/04
摘要：
Described are gas storage medium and methods of storing source gases in the gas storage medium, particularly relating to using hydroxylated metal oxides or hydroxylated metalloid oxides as a storage medium for storing diborane.
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