- 专利标题： RF CURRENT MEASUREMENT IN SEMICONDUCTOR PROCESSING TOOL
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申请号： US18752034申请日： 2024-06-24
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公开(公告)号： US20240347400A1公开(公告)日： 2024-10-17
- 发明人: Sunil Kapoor , Thomas Lee Frederick
- 申请人： Lam Research Corporation
- 申请人地址： US CA Fremont
- 专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Fremont
- 分案原申请号： US15733536 2020.08.21
- 主分类号： H01L21/66
- IPC分类号： H01L21/66 ; C23C16/455 ; C23C16/50 ; G01R15/18 ; H01J37/32 ; H01L21/67
摘要：
Methods and apparatus for measuring current are disclosed.
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