发明授权
US3409487A Use of a phenolic resin and ethylene oxide polymer as an etching resist
失效
使用酚醛树脂和环氧乙烷聚合物作为抗蚀剂
- 专利标题： Use of a phenolic resin and ethylene oxide polymer as an etching resist
- 专利标题（中）： 使用酚醛树脂和环氧乙烷聚合物作为抗蚀剂
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申请号： US41001364申请日： 1964-11-09
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公开(公告)号： US3409487A公开(公告)日： 1968-11-05
- 发明人: FRY JOHN S , POLLART DALE F , SILVER JULIUS L
- 申请人： UNION CARBIDE CORP
- 专利权人： Union Carbide Corp
- 当前专利权人： Union Carbide Corp
- 优先权： US41001364 1964-11-09
- 主分类号： C03C15/00
- IPC分类号： C03C15/00 ; C08L61/06 ; C08L71/02 ; C23F1/02 ; C25F3/14 ; G03F7/021 ; G03F7/038 ; H01L21/3063 ; H01L21/308 ; H01L21/311 ; H01L21/3213 ; H01L49/02 ; H05K3/00 ; H05K3/06
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