发明授权
- 专利标题： Natural lithographic fabrication of microstructures over large areas
- 专利标题（中）： 大面积微观结构的天然光刻制造
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申请号： US363019申请日： 1982-03-29
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公开(公告)号： US4407695A公开(公告)日： 1983-10-04
- 发明人: Harry W. Deckman , John H. Dunsmuir
- 申请人： Harry W. Deckman , John H. Dunsmuir
- 申请人地址： NJ Florham Park
- 专利权人： Exxon Research and Engineering Co.
- 当前专利权人： Exxon Research and Engineering Co.
- 当前专利权人地址： NJ Florham Park
- 主分类号： B41M5/24
- IPC分类号： B41M5/24 ; G03F7/004 ; G03F7/16 ; H01L21/308 ; B44C1/22 ; C03C15/00 ; C03C25/06 ; H01L21/306
摘要：
Large area random and mosaic arrays of identical submicron microcolumnar structures can be produced on surfaces by directionally ion etching a monolayer film of spherical colloidal particles.
公开/授权文献
- US5564551A Puck conveying mechanism and method 公开/授权日：1996-10-15
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