发明授权
- 专利标题： Method for planarizing patterned surfaces
- 专利标题（中）： 平面化图案表面的方法
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申请号： US487113申请日： 1983-04-26
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公开(公告)号： US4460434A公开(公告)日： 1984-07-17
- 发明人: Leo F. Johnson , Dawon Kahng
- 申请人： Leo F. Johnson , Dawon Kahng
- 申请人地址： NJ Murray Hill
- 专利权人： AT&T Bell Laboratories
- 当前专利权人： AT&T Bell Laboratories
- 当前专利权人地址： NJ Murray Hill
- 主分类号： H01L21/263
- IPC分类号： H01L21/263 ; H01L21/3105 ; H01L21/306 ; B44C1/22 ; C03C15/00 ; C03C25/06
摘要：
A method of planarizing a surface using ion beam milling at a non-normal angle of incidence that is useful in semiconductor device manufacture is described.
公开/授权文献
- US5837822A Humanized antibodies specific for ICAM related protein 公开/授权日：1998-11-17
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