发明授权
- 专利标题： Amorphous oxide film and article having such film thereon
- 专利标题（中）： 非晶氧化物膜和其他类似物
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申请号： US318330申请日： 1989-03-03
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公开(公告)号： US5110637A公开(公告)日： 1992-05-05
- 发明人: Eiichi Ando , Koichi Suzuki , Junichi Ebisawa , Susumu Suzuki
- 申请人： Eiichi Ando , Koichi Suzuki , Junichi Ebisawa , Susumu Suzuki
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： Asahi Glass Company Ltd.
- 当前专利权人： Asahi Glass Company Ltd.
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX63-48765 19880303; JPX63-76202 19880331; JPX63-144827 19880614; JPX63-264163 19881021
- 主分类号： C03C17/23
- IPC分类号： C03C17/23 ; C03C17/245 ; C03C17/25 ; C03C17/34 ; C03C17/36 ; C23C14/08 ; C23C14/34 ; G02B1/10
摘要：
An amorphous oxide film composed essentially of an oxide containing at least one member selected from the group consisting of Zr, Ti, Hf, Sn, Ta and In and at least one member selected from the group consisting of B and Si.
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