发明授权
- 专利标题： Device for the generation of a plasma
- 专利标题（中）： 等离子体生成装置
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申请号： US501094申请日： 1990-03-29
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公开(公告)号： US5146137A公开(公告)日： 1992-09-08
- 发明人: Roland Gesche , Karl-Heinz Kretschmer
- 申请人： Roland Gesche , Karl-Heinz Kretschmer
- 申请人地址： DEX Hanau
- 专利权人： Leybold Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： Leybold Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： DEX Hanau
- 优先权： DEX3942964 19891223
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; C23C14/40 ; H01J37/08 ; H01J37/32 ; H01P1/18
摘要：
The invention relates to a device for the generation of a plasma by means of circularly polarized high frequency waves. These high frequency waves are generated by means of voltages having a phase rotation of 90.degree..
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