发明授权
- 专利标题： Light sensitive composition containing an arylhydrazo dye
- 专利标题（中）： 含有芳基水解染料的感光性组合物
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申请号： US722711申请日： 1996-09-30
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公开(公告)号： US5763135A公开(公告)日： 1998-06-09
- 发明人: Shuji Ding , Ping-Hung Lu , Dinesh N. Khanna , Anthony J. Corso
- 申请人： Shuji Ding , Ping-Hung Lu , Dinesh N. Khanna , Anthony J. Corso
- 申请人地址： VGX
- 专利权人： Clariant Finance (BVI) Limited
- 当前专利权人： Clariant Finance (BVI) Limited
- 当前专利权人地址： VGX
- 主分类号： G03F7/004
- IPC分类号： G03F7/004 ; C08L5/00 ; C08L101/00 ; C09B23/00 ; C09B29/32 ; C09B55/00 ; G03F7/039 ; G03F7/09 ; H01L21/027 ; G03F7/023 ; G03F7/32
摘要：
A light-sensitive positive photoresist composition containing a film forming resin, a photoactive compound, a solvent, and an arylhydrazo dye. The dyed photoresist reduces the linewidth variation of the resist pattern on a reflective substrate while giving good lithographic performance.
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