发明授权
US5795215A Method and apparatus for using a retaining ring to control the edge
effect
失效
使用固定环来控制边缘效应的方法和装置
- 专利标题： Method and apparatus for using a retaining ring to control the edge effect
- 专利标题（中）： 使用固定环来控制边缘效应的方法和装置
-
申请号： US667221申请日： 1996-06-19
-
公开(公告)号： US5795215A公开(公告)日： 1998-08-18
- 发明人: William L. Guthrie , Tsungnan Cheng , Sen-Hou Ko , Harry Q. Lee , Michael T. Sherwood , Norm Shendon
- 申请人： William L. Guthrie , Tsungnan Cheng , Sen-Hou Ko , Harry Q. Lee , Michael T. Sherwood , Norm Shendon
- 申请人地址： CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： CA Santa Clara
- 主分类号： B24B5/00
- IPC分类号： B24B5/00
摘要：
A process using a retaining ring assembly of a carrier head to precompress a polishing pad to reduce or minimize the edge effect in a chemical mechanical polishing process.
公开/授权文献
- US5210304A Process for preparing hydrocarbyl aromatic amines 公开/授权日：1993-05-11
信息查询
