发明授权
US5844369A Automatic phase adjusting circuit for a plasma processing apparatus
失效
一种等离子体处理装置的自动相位调整电路
- 专利标题： Automatic phase adjusting circuit for a plasma processing apparatus
- 专利标题（中）： 一种等离子体处理装置的自动相位调整电路
-
申请号： US855916申请日： 1997-05-14
-
公开(公告)号： US5844369A公开(公告)日： 1998-12-01
- 发明人: Yuji Yoshizako , Tsuneo Ito , Akie Nakamoto
- 申请人： Yuji Yoshizako , Tsuneo Ito , Akie Nakamoto
- 申请人地址： JPX Osaka
- 专利权人： Daihen Corporation
- 当前专利权人： Daihen Corporation
- 当前专利权人地址： JPX Osaka
- 优先权： JPX8-146591 19960515
- 主分类号： H05H1/46
- IPC分类号： H05H1/46 ; H05H1/24
摘要：
A phase adjusting circuit for adjusting phases of output powers from two high frequency power generators in a plasma processing apparatus comprises first and second synthesizing circuits for generating first and second high frequency signals of a predetermined waveform with frequencies of f0 and f0.+-..DELTA.f (.DELTA.f
信息查询
IPC分类:
