公开(公告)号：US5844369A

公开(公告)日：1998-12-01

申请号：US855916

申请日：1997-05-14

申请人： Yuji Yoshizako ,  Tsuneo Ito ,  Akie Nakamoto

发明人： Yuji Yoshizako ,  Tsuneo Ito ,  Akie Nakamoto

IPC分类号： H05H1/46 ,  H05H1/24

CPC分类号： H05H1/46

摘要： A phase adjusting circuit for adjusting phases of output powers from two high frequency power generators in a plasma processing apparatus comprises first and second synthesizing circuits for generating first and second high frequency signals of a predetermined waveform with frequencies of f0 and f0.+-..DELTA.f (.DELTA.f

摘要翻译： 用于调整等离子体处理装置中的两个高频发电机的输出功率的相位的相位调整电路包括用于产生频率为f0和f0 +/- DELTA f的预定波形的第一和第二高频信号的第一和第二合成电路（ DELTA f << f0），用于检测板电极的检测信号之间的相位差的相位差检测电路，用于产生具有与确定的相位相同的第一频率信号的频率和波形的高频信号的第三波形合成电路 来自相位差和相位差检测电路的输出之间的相位误差，以及基于第一和第三波形合成电路的输出确定两个高频发电机的输出功率的相位调整电路。