发明授权
US5993302A Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical
polishing apparatus
失效
载体头带有用于化学机械抛光装置的可移除的保持环
- 专利标题： Carrier head with a removable retaining ring for a chemical mechanical polishing apparatus
- 专利标题（中）： 载体头带有用于化学机械抛光装置的可移除的保持环
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申请号： US2213申请日： 1997-12-31
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公开(公告)号： US5993302A公开(公告)日： 1999-11-30
- 发明人: Hung Chen , Steven M. Zuniga
- 申请人： Hung Chen , Steven M. Zuniga
- 申请人地址： CA Santa Clara
- 专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人： Applied Materials, Inc.
- 当前专利权人地址： CA Santa Clara
- 主分类号： B24B37/30
- IPC分类号： B24B37/30 ; B24B37/32 ; H01L21/304 ; B24B29/00
摘要：
A carrier head for a chemical mechanical polishing apparatus includes a detachable retaining ring which may be used for centering the substrate during substrate loading.
公开/授权文献
- US5416950A Cooking system and accessories 公开/授权日：1995-05-23
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