公开(公告)号：US08921686B2

公开(公告)日：2014-12-30

申请号：US13425870

申请日：2012-03-21

申请人： Steven M. Zuniga ,  Christopher J. Petti ,  Gopal Prabhu

发明人： Steven M. Zuniga ,  Christopher J. Petti ,  Gopal Prabhu

IPC分类号： H01L31/00 ,  H01L31/02 ,  H01L21/04 ,  H01L27/142 ,  H01L31/0392 ,  H01L31/042 ,  H01L31/18

CPC分类号： H01L27/142 ,  H01L31/03921 ,  H01L31/042 ,  H01L31/0682 ,  H01L31/1804 ,  H01L31/1896 ,  Y02E10/547 ,  Y02P70/521

摘要： A method to fabricate a photovoltaic device includes forming first and second contact regions at the first surface of a semiconductor donor body. A cleave plane may be formed by implanting ions into the donor body, and a lamina that includes the contact regions is cleaved from the donor body at the cleave plane. The first surface of the lamina may be contacted with a temporary support and fabricated into a photovoltaic device, wherein the lamina comprises the base of the photovoltaic device.

摘要翻译： 制造光伏器件的方法包括在半导体施主体的第一表面形成第一和第二接触区域。 可以通过将离子注入给体体中形成切割平面，并且包括接触区域的层在分裂面处从施主体断裂。 薄片的第一表面可以与临时支撑件接触并制成光伏器件，其中薄片包括光伏器件的基极。

公开(公告)号：US20130334752A1

公开(公告)日：2013-12-19

申请号：US13908774

申请日：2013-06-03

申请人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

发明人： Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Hung Chih Chen ,  Andrew J. Nagengast ,  Steven M. Zuniga ,  Thomas B. Brezoczky

IPC分类号： B24B37/30

CPC分类号： B24B37/30 ,  B24B41/06 ,  B29C33/424 ,  B29C35/02 ,  B29K2023/00 ,  B29K2083/00 ,  B29K2995/0074 ,  B29L2031/755

摘要： A flexible membrane for use in a carrier head has a generally circular main portion with a lower surface, an annular outer portion for connection to a base assembly, and an annular flap extending from the main portion on a side opposite the lower surface for connection to the base assembly. At least one surface of the flap has a surface texture to prevent adhesion.

摘要翻译： 用于载体头部的柔性膜具有大致圆形的主要部分，具有下表面，用于连接到基座组件的环形外部部分和从主体部分在与下表面相对的一侧延伸的环形挡片，用于连接到 基座组件。 翼片的至少一个表面具有表面纹理以防止粘附。

公开(公告)号：US08486220B2

公开(公告)日：2013-07-16

申请号：US13603876

申请日：2012-09-05

申请人： Steven M. Zuniga ,  Thomas H. Osterheld

发明人： Steven M. Zuniga ,  Thomas H. Osterheld

IPC分类号： B24B5/00 ,  B24B29/00

CPC分类号： B24B41/06 ,  B24B37/30 ,  B24B37/32

摘要： A carrier head for a chemical mechanical polishing apparatus includes a retaining ring having a flexible lower portion and a rigid upper portion.

摘要翻译： 用于化学机械抛光装置的承载头包括具有柔性下部和刚性上部的保持环。

公开(公告)号：US08207047B2

公开(公告)日：2012-06-26

申请号：US12636490

申请日：2009-12-11

申请人： Steven M. Zuniga ,  Derek G. Aqui ,  Andrew J. Nagengast ,  Keenan Leon Guerrero ,  Harish K. Bolla ,  Aditya Agarwal

发明人： Steven M. Zuniga ,  Derek G. Aqui ,  Andrew J. Nagengast ,  Keenan Leon Guerrero ,  Harish K. Bolla ,  Aditya Agarwal

IPC分类号： H01L21/30

CPC分类号： H01L21/68728 ,  H01L21/67766 ,  H01L21/67781

摘要： A system for simultaneously treating multiple workpieces is configured with treatment sites, configured to hold respective workpieces, fixed on a rotatable base. Treatment stations are equipped with respective active components operable simultaneously to treat respective workpieces identically on respective aligned treatment sites. For loading and unloading the treatment sites are rotated through distinct loading and unloading stations of the treatment stations which allow loading of a second batch while a first batch is being unloaded.

摘要翻译： 用于同时处理多个工件的系统被配置有处理部位，其被配置为保持固定在可旋转底座上的各个工件。 处理站配备有可同时操作的相应活动部件，以在相应的对准的处理部位上相同地处理相应的工件。 对于装载和卸载，处理站点通过处理站的不同装载和卸载站进行旋转，允许在第一批卸载时加载第二批料。

公开(公告)号：US08151852B2

公开(公告)日：2012-04-10

申请号：US12495114

申请日：2009-06-30

申请人： Steven M. Zuniga ,  Robert D. Tolles ,  Derek G. Aqui ,  Andrew J. Nagengast ,  Anthony J. Senn ,  Keenan Leon Guerrero

发明人： Steven M. Zuniga ,  Robert D. Tolles ,  Derek G. Aqui ,  Andrew J. Nagengast ,  Anthony J. Senn ,  Keenan Leon Guerrero

IPC分类号： B32B37/00

CPC分类号： B32B37/003 ,  B32B37/10 ,  B32B37/1009 ,  B32B38/004 ,  B32B2309/60 ,  B32B2309/68 ,  B32B2457/14 ,  H01L21/67092 ,  H01L21/67748 ,  H01L21/6875

摘要： A bonding apparatus and method holds first and second bodies peripherally, one above the other, on respective shelves. A lower heat-transfer body is configured to lift the first body from below and press the first and second bodies against an upper heat-transfer body to enable bonding between the first and second bodies.

摘要翻译： 接合装置和方法将第一和第二主体周边地彼此上下放置在相应的搁架上。 下部传热体构造成从下方提升第一体，并且将第一和第二体压靠在上部传热体上，以使第一和第二体之间的粘结。

公开(公告)号：US20110140334A1

公开(公告)日：2011-06-16

申请号：US12636328

申请日：2009-12-11

申请人： Steven M. Zuniga ,  Derek G. Aqui ,  Andrew J. Nagengast ,  Keenan Leon Guerrero ,  Harish K. Bolla ,  Aditya Agarwal

发明人： Steven M. Zuniga ,  Derek G. Aqui ,  Andrew J. Nagengast ,  Keenan Leon Guerrero ,  Harish K. Bolla ,  Aditya Agarwal

IPC分类号： B23Q3/00

CPC分类号： H01L21/68728 ,  H01L21/6719 ,  H01L21/68707 ,  H01L21/68764 ,  H01L21/68771

摘要： A system for simultaneously treating multiple workpieces is configured with sites, configured to hold respective workpieces, affixed on a rotatable base. Each site has a shelf accommodating an interior space and may be positioned by base rotation in alignment with a station of fixed location. Each station is equipped with an active component. The active components are movable simultaneously within respective stations into the respective interior spaces of respective aligned sites.

摘要翻译： 用于同时处理多个工件的系统被配置有被固定在可旋转底座上的各个工件的位置。 每个场地具有容纳内部空间的搁架，并且可以通过基座旋转定位成与固定位置的工位对准。 每个车站都配有一个有源组件。 有源部件可以在相应的站内同时移动到各个对准的位置的相应的内部空间中。

公开(公告)号：US07927190B2

公开(公告)日：2011-04-19

申请号：US12049650

申请日：2008-03-17

申请人： Hung Chih Chen ,  Steven M. Zuniga ,  Charles C. Garretson ,  Douglas R. McAllister ,  Jian Lin ,  Stacy Meyer ,  Sidney P. Huey ,  Jeonghoon Oh ,  Trung T. Doan ,  Jeffrey Schmidt ,  Martin S. Wohlert ,  Kerry F. Hughes ,  James C. Wang ,  Danny Cam Toan Lu ,  Romain Beau De Lamenie ,  Venkata R. Balagani ,  Aden Martin Allen ,  Michael Jon Fong

发明人： Hung Chih Chen ,  Steven M. Zuniga ,  Charles C. Garretson ,  Douglas R. McAllister ,  Jian Lin ,  Stacy Meyer ,  Sidney P. Huey ,  Jeonghoon Oh ,  Trung T. Doan ,  Jeffrey Schmidt ,  Martin S. Wohlert ,  Kerry F. Hughes ,  James C. Wang ,  Danny Cam Toan Lu ,  Romain Beau De Lamenie ,  Venkata R. Balagani ,  Aden Martin Allen ,  Michael Jon Fong

IPC分类号： B24B5/00

CPC分类号： B24B37/32 ,  Y10T29/49815

摘要： A retaining ring can be shaped by machining or lapping the bottom surface of the ring to form a shaped profile in the bottom surface. The bottom surface of the retaining ring can include flat, sloped and curved portions. The lapping can be performed using a machine that dedicated for use in lapping the bottom surface of retaining rings. During the lapping the ring can be permitted to rotate freely about an axis of the ring. The bottom surface of the retaining ring can have curved or flat portions.

公开(公告)号：US07842158B2

公开(公告)日：2010-11-30

申请号：US11837412

申请日：2007-08-10

申请人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas B. Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

发明人： Hung Chih Chen ,  Jeonghoon Oh ,  Tsz-Sin Siu ,  Thomas B. Brezoczky ,  Steven M. Zuniga

IPC分类号： B24B29/00

CPC分类号： B24B37/30

摘要： A carrier head for chemical mechanical polishing of a substrate includes a base and a flexible membrane extending beneath the base. The flexible membrane includes a central portion with an outer surface providing a substrate receiving surface, a perimeter portion connecting the central portion to the base, and at least one flap extending from an inner surface of the central portion. The flap divides a volume between the flexible membrane and the base into a plurality of chambers, and the flap includes a laterally extending first section and an angled second section extending beneath the first section and connecting the laterally extending first section to the central portion.

摘要翻译： 用于基板的化学机械抛光的承载头包括基部和在基部下方延伸的柔性膜。 柔性膜包括具有提供基板接收表面的外表面的中心部分，将中心部分连接到基部的周边部分和从中心部分的内表面延伸的至少一个折片。 翼片将柔性膜和基部之间的体积分成多个室，并且该翼片包括横向延伸的第一部分和在第一部分下方延伸并且将横向延伸的第一部分连接到中心部分的成角度的第二部分。

公开(公告)号：US07815495B2

公开(公告)日：2010-10-19

申请号：US11734063

申请日：2007-04-11

申请人： Kun Xu ,  Jimin Zhang ,  James C. Wang ,  Thomas H. Osterheld ,  Yutao Ma ,  Steven M. Zuniga ,  Jin Yi

发明人： Kun Xu ,  Jimin Zhang ,  James C. Wang ,  Thomas H. Osterheld ,  Yutao Ma ,  Steven M. Zuniga ,  Jin Yi

IPC分类号： B24B53/12

CPC分类号： B24B53/017 ,  B24B29/005 ,  B24B53/12

摘要： A pad conditioner is provided for conditioning a polishing pad in chemical mechanical planarization (CMP). The pad conditioner comprises a plastic abrasive portion having a first hardness and optionally a brush portion having a second hardness less than the first hardness. The plastic abrasive portion comprises a base plate and a plurality of plastic nodules formed on a surface of the base plate, each of the plastic nodules having a planar top surface, wherein the planar top surface is positioned to substantially contact a polishing pad. The brush portion may be positioned adjacent to the plastic abrasive portion, the brush portion having a plurality of brush elements positioned to substantially contact the pad.

摘要翻译： 提供了用于在化学机械平面化（CMP）中调理抛光垫的衬垫调节器。 衬垫调节剂包括具有第一硬度的塑料磨料部分和任选地具有小于第一硬度的第二硬度的刷部分。 塑料研磨部分包括基板和形成在基板的表面上的多个塑料结节，每个塑料结节具有平坦的顶表面，其中平面顶表面被定位成基本接触抛光垫。 刷部分可以定位成与塑料研磨部分相邻，刷部分具有多个刷子元件，其定位成基本上接触焊盘。

公开(公告)号：US20100151777A1

公开(公告)日：2010-06-17

申请号：US12698912

申请日：2010-02-02

申请人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

发明人： Steven M. Zuniga ,  Andrew J. Nagengast ,  Jeonghoon Oh

IPC分类号： B24D15/00

CPC分类号： B24B37/32

摘要： A carrier head that has a base assembly, a retaining ring assembly, a carrier ring, and a flexible membrane is described. A carrier ring has an annular upper portion and an annular lower portion having a lower surface with a smaller inner diameter than the upper surface of the annular upper portion, wherein the carrier ring circumferentially surrounds a retaining ring and has a lower surface to contact a polishing pad.

摘要翻译： 描述了具有基座组件，保持环组件，载体环和柔性膜的承载头。 承载环具有环形上部和环形下部，其具有比环形上部的上表面更小的内径的下表面，其中承载环周向地包围保持环并且具有接触抛光的下表面 垫。