发明授权
- 专利标题： Mask including optical shield layer having variable light transmittance
- 专利标题（中）： 面罩包括具有可变透光率的光屏蔽层
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申请号： US37362申请日： 1998-03-10
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公开(公告)号： US6048648A公开(公告)日： 2000-04-11
- 发明人: Shuichi Hashimoto , Masashi Fujimoto
- 申请人： Shuichi Hashimoto , Masashi Fujimoto
- 申请人地址： JPX Tokyo
- 专利权人： NEC Corporation
- 当前专利权人： NEC Corporation
- 当前专利权人地址： JPX Tokyo
- 优先权： JPX9-054940 19970310
- 主分类号： G03F1/36
- IPC分类号： G03F1/36 ; G03F1/54 ; H01L21/027 ; G03F9/00
摘要：
In a mask including an optical shield layer formed on a transparent substrate, the light transmittance of the shield layer is changed in accordance with the density of patterns of the shield layer or the thickness of a photoresist layer on a semiconductor substrate.
公开/授权文献
- USD372356S Illuminated key ring 公开/授权日：1996-08-06
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