发明授权
- 专利标题： Electro-actuated microlens assemblies
- 专利标题（中）： 电动微透镜组件
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申请号： US209347申请日： 1998-12-11
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公开(公告)号： US6091537A公开(公告)日： 2000-07-18
- 发明人: Decai Sun , Eric Peeters , Ross D. Bringans , Patrick Y. Maeda
- 申请人： Decai Sun , Eric Peeters , Ross D. Bringans , Patrick Y. Maeda
- 申请人地址： CT Stamford
- 专利权人： Xerox Corporation
- 当前专利权人： Xerox Corporation
- 当前专利权人地址： CT Stamford
- 主分类号： B81B3/00
- IPC分类号： B81B3/00 ; G02B7/02 ; G02B7/08 ; G02B26/08 ; G02B26/10 ; H01S5/00 ; H01S5/183 ; G02F1/03
摘要：
A micro-machined movable microlens assembly is formed on undoped or pure a semiconductor substrate. The movable microlens assemblies are to be actuated using force generators which cause various mechanical degrees of freedom depending upon the type of stage suspension and actuation used.
公开/授权文献
- US4410141A Fuel injection nozzle for internal combustion engines 公开/授权日：1983-10-18
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