发明授权
- 专利标题： Antireflective coating compositions
- 专利标题（中）： 防反射涂料组合物
-
申请号： US10858584申请日： 2004-06-02
-
公开(公告)号： US06887648B2公开(公告)日： 2005-05-03
- 发明人: Edward K. Pavelchek , Peter Trefonas, III
- 申请人： Edward K. Pavelchek , Peter Trefonas, III
- 申请人地址： US MA Marlborough
- 专利权人： Shipley Company, L.L.C.
- 当前专利权人： Shipley Company, L.L.C.
- 当前专利权人地址： US MA Marlborough
- 代理机构： Edwards & Angell, LLP
- 代理商 Peter F. Corless; Darryl P. Frickey
- 主分类号： G03F7/11
- IPC分类号： G03F7/11 ; B05D1/36 ; B05D5/06 ; G03F7/09 ; H01L21/027 ; G03C1/76
摘要：
Antireflective compositions are provided that contain an ionic thermal acid generator material. Use of such a thermal acid generator material can significantly increase the shelf life of solutions of antireflective compositions in protic media. Antireflective compositions of the invention can be effectively used at a variety of wavelengths used to expose an overcoated photoresist layer, including 248 nm and 193 nm.
公开/授权文献
- US20040219453A1 Antireflective coating compositions 公开/授权日：2004-11-04
信息查询
IPC分类:
