发明授权
- 专利标题： Lithographic apparatus and device manufacturing method
- 专利标题（中）： 平版印刷设备和器件制造方法
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申请号： US10457788申请日： 2003-06-10
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公开(公告)号： US06891600B2公开(公告)日： 2005-05-10
- 发明人: Petrus Carolus Maria Frissen , Johan Cornelis Compter , Rob Tabor
- 申请人： Petrus Carolus Maria Frissen , Johan Cornelis Compter , Rob Tabor
- 申请人地址： NL Veldhoven
- 专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人： ASML Netherlands B.V.
- 当前专利权人地址： NL Veldhoven
- 代理机构： Pillsbury Winthrop LLP
- 优先权： EP02254101 20020612
- 主分类号： G03F7/20
- IPC分类号： G03F7/20 ; H01L21/027 ; H02K3/18 ; H02K3/32 ; H02K41/03 ; G03B27/58 ; G03B27/62
摘要：
A coil for use in an actuator in a lithographic projection apparatus. The coil is formed of a strip of electrically conducting sheet-material that is wound round a winding axis. Respective turns of the strip of sheet-material are separated by an electrically non-conducting layer.
公开/授权文献
- US20040036848A1 Lithographic apparatus and device manufacturing method 公开/授权日：2004-02-26
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