发明授权
- 专利标题： Optical element and optical system
- 专利标题（中）： 光学元件和光学系统
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申请号： US09393966申请日： 1999-09-10
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公开(公告)号： US06967796B2公开(公告)日： 2005-11-22
- 发明人: Seiji Takeuchi , Ichiro Tanaka , Yasuyuki Tomita
- 申请人： Seiji Takeuchi , Ichiro Tanaka , Yasuyuki Tomita
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人： Canon Kabushiki Kaisha
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Fitzpatrick, Cella, Harper & Scinto
- 优先权： JP10-276615 19980911; JP11-255658 19990909
- 主分类号： G02B5/00
- IPC分类号： G02B5/00 ; G02B1/11 ; G02B1/113 ; G02B5/18
摘要：
A diffractive optical element, which is used for an optical system of an exposure apparatus, includes a light-shielding member composed of a laminated layer of Cr oxide and Cr at a periphery of an effective area.
公开/授权文献
- US20020044345A1 OPTICAL ELEMENT AND OPTICAL SYSTEM 公开/授权日：2002-04-18
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