发明授权
- 专利标题： Micromirror devices and methods of making the same
- 专利标题（中）： 微镜器件及其制作方法
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申请号： US11734442申请日： 2007-04-12
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公开(公告)号： US07362494B2公开(公告)日： 2008-04-22
- 发明人: Andrew Huibers , Hongqin Shi , James C. Dunphy , Satyadev Patel
- 申请人： Andrew Huibers , Hongqin Shi , James C. Dunphy , Satyadev Patel
- 申请人地址： US TX Dallas
- 专利权人： Texas Instruments Incorporated
- 当前专利权人： Texas Instruments Incorporated
- 当前专利权人地址： US TX Dallas
- 代理商 W. James Brady, III; Fredrick J. Telecky, Jr.
- 主分类号： G02B26/00
- IPC分类号： G02B26/00
摘要：
A method for making a micromirror device comprises is disclosed herein.
公开/授权文献
- US20070241417A1 Micromirror devices and methods of making the same 公开/授权日：2007-10-18
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