发明授权
US07367769B2 Semiconductor production system, cluster tool, control method of semiconductor production system and maintenance method of cluster tool
有权
半导体生产系统，集群工具，半导体生产系统的控制方法和集群工具的维护方法
- 专利标题： Semiconductor production system, cluster tool, control method of semiconductor production system and maintenance method of cluster tool
- 专利标题（中）： 半导体生产系统，集群工具，半导体生产系统的控制方法和集群工具的维护方法
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申请号： US10471289申请日： 2002-03-18
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公开(公告)号： US07367769B2公开(公告)日： 2008-05-06
- 发明人: Tomoyuki Ishii , Masahiro Numakura
- 申请人： Tomoyuki Ishii , Masahiro Numakura
- 申请人地址： JP Tokyo
- 专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人： Tokyo Electron Limited
- 当前专利权人地址： JP Tokyo
- 代理机构： Oblon, Spivak, McClelland, Maier & Neustadt, P.C.
- 优先权： JP2001-083148 20010322
- 国际申请： PCT/JP02/02538 WO 20020318
- 国际公布： WO02/078065 WO 20021003
- 主分类号： H01L21/677
- IPC分类号： H01L21/677 ; G06F7/00
摘要：
PS control sections MC1, MC2 configured to independently control the operations in process ships PS1, PS2 are provided respectively, and an LM control section MC3 configured to control the operation in a loader module LM is provided independently.With this structure, the operations of the process ships PS1, PS2 and the loader module LM can be checked while the process ships PS1, PS2 are not coupled to the loader module LM.
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