发明授权
- 专利标题： Fin structure formation
- 专利标题（中）： 鳍结构形成
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申请号： US11830761申请日： 2007-07-30
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公开(公告)号： US07682479B2公开(公告)日： 2010-03-23
- 发明人: Zhi-Song Huang , S. M. Reza Sadjadi
- 申请人： Zhi-Song Huang , S. M. Reza Sadjadi
- 申请人地址： US CA Fremont
- 专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人： Lam Research Corporation
- 当前专利权人地址： US CA Fremont
- 代理机构： Beyer Law Group LLP
- 主分类号： C23F1/00
- IPC分类号： C23F1/00 ; H01L21/306 ; C23C16/00
摘要：
A method for forming fin structures is provided. Sacrificial structures are provided on a substrate. Fin structures are formed on the sides of the sacrificial structures. The forming of the fin structures comprises a plurality of cycles, wherein each cycle comprises a fin deposition phase and a fin profile shaping phase. The sacrificial structure is removed.
公开/授权文献
- US20080017314A1 FIN STRUCTURE FORMATION 公开/授权日：2008-01-24
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