发明授权
- 专利标题： Sharpening metal carbide emitters
- 专利标题（中）： 磨削金属碳化物放射体
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申请号： US11924530申请日： 2007-10-25
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公开(公告)号： US07828622B1公开(公告)日： 2010-11-09
- 发明人: Alan Brodie , Mehran Nasser-Ghodsi , Ming Yu
- 申请人： Alan Brodie , Mehran Nasser-Ghodsi , Ming Yu
- 申请人地址： US CA San Jose
- 专利权人： KLA-Tencor Technologies Corporation
- 当前专利权人： KLA-Tencor Technologies Corporation
- 当前专利权人地址： US CA San Jose
- 代理机构： JDI Patent
- 代理商 Joshua D. Isenberg
- 主分类号： H01J9/00
- IPC分类号： H01J9/00 ; H01J9/04
摘要：
A method for sharpening a metal carbide emitter tip is disclosed. The metal carbide emitter tip is exposed to an oxygen rich, low vacuum environment when the metal carbide emitter tip is at a first temperature. The metal carbide emitter tip is rapidly heated to a higher second temperature at regular intervals of time.
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