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发明授权
US07928522B2 Arrangements for and fabrication of mechanical suspension of a movable structure 有权
可移动结构的机械悬挂的安排和制造

  • 专利标题： Arrangements for and fabrication of mechanical suspension of a movable structure
  • 专利标题（中）： 可移动结构的机械悬挂的安排和制造
  • 申请号： US11904464
    申请日： 2007-09-27
  • 公开(公告)号： US07928522B2
    公开(公告)日： 2011-04-19
  • 发明人: Terry Zhu , Nickolai Belov
  • 申请人： Terry Zhu , Nickolai Belov
  • 申请人地址： US CA Santa Clara
  • 专利权人： Intel Corporation
  • 当前专利权人： Intel Corporation
  • 当前专利权人地址： US CA Santa Clara
  • 代理机构： Schubert Law Group PLLC
  • 代理商 Jeffrey S. Schubert
  • 主分类号： G21K7/00
  • IPC分类号： G21K7/00
Arrangements for and fabrication of mechanical suspension of a movable structure
摘要：
In one embodiment a micro-electro mechanical system is disclosed. A MEMS structure can include a frame, a movable structure and a set of structural beams to suspend the movable structure from the frame. The system can also include a set of conductor routing beams. The conductor routing beams can provide a conductive path from the frame to the movable structure. The set of structural beams can have a spring rate that is more than ten times the spring rate of the set of conductor routing beams. Accordingly, multiple routing beams can be utilized to support multiple conductors without significantly affecting the mechanical movement or dynamic properties of the movable structure.
摘要（中）：

在一个实施例中，公开了一种微机电系统。 MEMS结构可以包括框架，可移动结构和一组结构梁，以将可移动结构悬挂在框架上。 该系统还可以包括一组导体布线梁。 导体布线梁可以提供从框架到可移动结构的导电路径。 该组结构梁的弹簧刚度可以超过导体布线梁组的弹簧刚度的十倍。 因此，可以利用多个路由波束来支持多个导体，而不会显着影响可移动结构的机械运动或动态特性。

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