发明授权
- 专利标题： Optical imaging device having at least one system diaphragm
- 专利标题（中）： 具有至少一个系统隔膜的光学成像装置
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申请号： US10566196申请日： 2004-07-02
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公开(公告)号： US08009343B2公开(公告)日： 2011-08-30
- 发明人: Bernhard Gellrich , Thomas Bischoff , Hermann Bieg , Martin Huber , Francois Henzelin , Gerhard Szekely , Uy-Liem Nguyen , Martin E. Humphries
- 申请人： Bernhard Gellrich , Thomas Bischoff , Hermann Bieg , Martin Huber , Francois Henzelin , Gerhard Szekely , Uy-Liem Nguyen , Martin E. Humphries
- 申请人地址： DE Oberkochen
- 专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人： Carl Zeiss SMT GmbH
- 当前专利权人地址： DE Oberkochen
- 代理机构： Wells St. John P.S.
- 优先权： DE10335215 20030801
- 国际申请： PCT/EP2004/007186 WO 20040702
- 国际公布： WO2005/019878 WO 20050303
- 主分类号： G02B27/72
- IPC分类号： G02B27/72
摘要：
An optical imaging device (PL), in particular an objective for semiconductor lithography, is provided with at least one system diaphragm. The system diaphragm comprises a multiplicity of mobile plates, which are rotatably mounted. The plates have a spherical curvature.
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