发明授权
- 专利标题： Ion sources, systems and methods
- 专利标题（中）： 离子源，系统和方法
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申请号： US12364259申请日： 2009-02-02
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公开(公告)号： US08110814B2公开(公告)日： 2012-02-07
- 发明人: Billy W. Ward , John A. Notte, IV , Louis S. Farkas, III , Randall G. Percival , Raymond Hill , Klaus Edinger , Lars Markwort , Dirk Aderhold , Ulrich Mantz
- 申请人： Billy W. Ward , John A. Notte, IV , Louis S. Farkas, III , Randall G. Percival , Raymond Hill , Klaus Edinger , Lars Markwort , Dirk Aderhold , Ulrich Mantz
- 申请人地址： US MA Peabody
- 专利权人： ALIS Corporation
- 当前专利权人： ALIS Corporation
- 当前专利权人地址： US MA Peabody
- 代理机构： Fish & Richardson P.C.
- 主分类号： H01J27/02
- IPC分类号： H01J27/02 ; H01J27/26 ; H01J49/10
摘要：
Ion sources, systems and methods are disclosed.
公开/授权文献
- US20090179161A1 ION SOURCES, SYSTEMS AND METHODS 公开/授权日：2009-07-16
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