发明授权
- 专利标题： Integrated microphone
- 专利标题（中）： 集成麦克风
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申请号： US12845348申请日： 2010-07-28
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公开(公告)号： US08169042B2公开(公告)日： 2012-05-01
- 发明人: Jason W. Weigold , John R. Martin , Timothy J. Brosnihan
- 申请人： Jason W. Weigold , John R. Martin , Timothy J. Brosnihan
- 申请人地址： US MA Norwood
- 专利权人： Analog Devices, Inc.
- 当前专利权人： Analog Devices, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Norwood
- 代理机构： Sunstein Kann Murphy & Timbers LLP
- 主分类号： G01L9/00
- IPC分类号： G01L9/00 ; H01L21/00 ; G10K13/00
摘要：
A method of forming a microphone having a variable capacitance first deposits high temperature deposition material on a die. The high temperature material ultimately forms structure that contributes to the variable capacitance. The method then forms circuitry on the die after depositing the deposition material. The circuitry is configured to detect the variable capacitance.
公开/授权文献
- US20100289097A1 Integrated Microphone 公开/授权日：2010-11-18
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