发明授权
- 专利标题： Carrier gas system and coupling substrate carrier to a loadport
- 专利标题（中）： 载气系统和耦合衬底载体到负载端口
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申请号： US11855484申请日： 2007-09-14
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公开(公告)号： US08297319B2公开(公告)日： 2012-10-30
- 发明人: Daniel Babbs , William Fosnight
- 申请人： Daniel Babbs , William Fosnight
- 申请人地址： US MA Chelmsford
- 专利权人： Brooks Automation, Inc.
- 当前专利权人： Brooks Automation, Inc.
- 当前专利权人地址： US MA Chelmsford
- 代理机构： Perman & Green, LLP
- 代理商 Colin C. Durham
- 主分类号： B65B31/00
- IPC分类号： B65B31/00
摘要：
A method for pressurizing a substrate carrier including pressurizing a chamber that is of unitary construction with the carrier and/or a substrate cassette within the carrier and maintaining a pressure within the carrier by releasing gas from the chamber into the carrier.
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