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US08575031B2 Method of forming a fine pattern, display substrate, and method of manufacturing the same using the method of forming a fine pattern 有权
使用形成精细图案的方法形成精细图案的方法，显示基板及其制造方法

Method of forming a fine pattern, display substrate, and method of manufacturing the same using the method of forming a fine pattern
摘要：
A method is provided for forming a fine pattern. In the method, a first fine pattern and a first metal pattern are formed by respectively patterning a first fine pattern layer on a base substrate and a first metal layer on the first fine pattern layer. A second fine pattern layer and a second metal layer are sequentially formed over the first fine pattern and the first metal pattern. The second metal layer is patterned, so that a second metal pattern between adjacent portions of the first fine pattern. The second fine pattern layer is patterned using the second metal pattern as a mask, so that a second fine pattern is formed between adjacent portions of the first fine pattern.
摘要（中）：

提供了形成精细图案的方法。 在该方法中，通过分别对第一精细图案层上的基底基板上的第一精细图案层和第一金属层进行构图来形成第一精细图案和第一金属图案。 在第一精细图案和第一金属图案上顺序地形成第二精细图案层和第二金属层。 图案化第二金属层，使得在第一精细图案的相邻部分之间的第二金属图案。 使用第二金属图案作为掩模对第二精细图案图案进行图案化，使得在第一精细图案的相邻部分之间形成第二精细图案。

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