公开(公告)号：US08575031B2

公开(公告)日：2013-11-05

申请号：US13349487

申请日：2012-01-12

申请人： Se-Hwan Yu ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Ji-Seon Lee

发明人： Se-Hwan Yu ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Ji-Seon Lee

IPC分类号： H01L29/04

CPC分类号： H01L27/1218 ,  G02B5/3025 ,  G02F1/133528 ,  H01L27/1262

摘要： A method is provided for forming a fine pattern. In the method, a first fine pattern and a first metal pattern are formed by respectively patterning a first fine pattern layer on a base substrate and a first metal layer on the first fine pattern layer. A second fine pattern layer and a second metal layer are sequentially formed over the first fine pattern and the first metal pattern. The second metal layer is patterned, so that a second metal pattern between adjacent portions of the first fine pattern. The second fine pattern layer is patterned using the second metal pattern as a mask, so that a second fine pattern is formed between adjacent portions of the first fine pattern.

摘要翻译： 提供了形成精细图案的方法。 在该方法中，通过分别对第一精细图案层上的基底基板上的第一精细图案层和第一金属层进行构图来形成第一精细图案和第一金属图案。 在第一精细图案和第一金属图案上顺序地形成第二精细图案层和第二金属层。 图案化第二金属层，使得在第一精细图案的相邻部分之间的第二金属图案。 使用第二金属图案作为掩模对第二精细图案图案进行图案化，使得在第一精细图案的相邻部分之间形成第二精细图案。

公开(公告)号：US20120248442A1

公开(公告)日：2012-10-04

申请号：US13349487

申请日：2012-01-12

申请人： Se-Hwan YU ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Ji-Seon Lee

发明人： Se-Hwan YU ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Ji-Seon Lee

IPC分类号： H01L29/04 ,  H01L21/312 ,  H01L21/02

CPC分类号： H01L27/1218 ,  G02B5/3025 ,  G02F1/133528 ,  H01L27/1262

摘要： A method is provided for forming a fine pattern. In the method, a first fine pattern and a first metal pattern are formed by respectively patterning a first fine pattern layer on a base substrate and a first metal layer on the first fine pattern layer. A second fine pattern layer and a second metal layer are sequentially formed over the first fine pattern and the first metal pattern. The second metal layer is patterned, so that a second metal pattern between adjacent portions of the first fine pattern. The second fine pattern layer is patterned using the second metal pattern as a mask, so that a second fine pattern is formed between adjacent portions of the first fine pattern.

摘要翻译： 提供了形成精细图案的方法。 在该方法中，通过分别对第一精细图案层上的基底基板上的第一精细图案层和第一金属层进行构图来形成第一精细图案和第一金属图案。 在第一精细图案和第一金属图案上顺序地形成第二精细图案层和第二金属层。 图案化第二金属层，使得在第一精细图案的相邻部分之间的第二金属图案。 使用第二金属图案作为掩模对第二精细图案图案进行图案化，使得在第一精细图案的相邻部分之间形成第二精细图案。

公开(公告)号：US08912552B2

公开(公告)日：2014-12-16

申请号：US13418175

申请日：2012-03-12

申请人： Chong-Sup Chang ,  Yoon-Ho Khang ,  Se-Hwan Yu ,  Yong-Su Lee ,  Min Kang ,  Myoung-Geun Cha ,  Ji-Seon Lee

发明人： Chong-Sup Chang ,  Yoon-Ho Khang ,  Se-Hwan Yu ,  Yong-Su Lee ,  Min Kang ,  Myoung-Geun Cha ,  Ji-Seon Lee

IPC分类号： H01L29/18 ,  G02F1/1362 ,  H01L27/12

CPC分类号： G02F1/136286 ,  G02F2001/136295 ,  G02F2201/07 ,  H01L27/124 ,  H01L27/1288

摘要： A display substrate includes a base substrate; a first metal pattern disposed on the base substrate and comprising a first signal line and a first electrode electrically connected to the first signal line; and a buffer pattern disposed at a corner between a sidewall surface of the first metal pattern and the base substrate.

摘要翻译： 显示基板包括基底基板; 第一金属图案，设置在所述基底基板上，并且包括电连接到所述第一信号线的第一信号线和第一电极; 以及设置在第一金属图案的侧壁表面和基底基板之间的拐角处的缓冲图案。

公开(公告)号：US09025118B2

公开(公告)日：2015-05-05

申请号：US13619120

申请日：2012-09-14

申请人： Jung-Kyu Lee ,  Yoon-Ho Khang ,  Se-Hwan Yu ,  Cheol-Kyu Kim ,  Yong-Su Lee ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Su-Hyoung Kang ,  Hyun-Jae Na ,  Young-Ki Shin

发明人： Jung-Kyu Lee ,  Yoon-Ho Khang ,  Se-Hwan Yu ,  Cheol-Kyu Kim ,  Yong-Su Lee ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Su-Hyoung Kang ,  Hyun-Jae Na ,  Young-Ki Shin

IPC分类号： G02F1/136 ,  H01L27/12 ,  G02F1/1362

CPC分类号： H01L27/124 ,  G02F1/136286 ,  G02F2001/13629 ,  H01L27/1288

摘要： A display substrate includes a base substrate, a switching element, a gate line, a data line and a pixel electrode. Each of the gate line and the data line includes a first metal layer, and a second metal layer directly on the first metal layer. The switching element is on the base substrate, and includes a control electrode and an input electrode or an output electrode. The control electrode includes the first metal layer and excludes the second metal layer, and extends from the gate line. The input electrode or the output electrode includes a second metal layer and excludes the first metal layer. The input electrode extends from the data line. The pixel electrode is electrically connected to the output electrode of the switching element through a first contact hole, and includes a transparent conductive layer.

摘要翻译： 显示基板包括基底基板，开关元件，栅极线，数据线和像素电极。 栅极线和数据线中的每一个包括第一金属层和直接在第一金属层上的第二金属层。 开关元件在基底基板上，并且包括控制电极和输入电极或输出电极。 控制电极包括第一金属层，并且不包括第二金属层，并且从栅极线延伸。 输入电极或输出电极包括第二金属层，并且不包括第一金属层。 输入电极从数据线延伸。 像素电极通过第一接触孔电连接到开关元件的输出电极，并且包括透明导电层。

公开(公告)号：US20130105826A1

公开(公告)日：2013-05-02

申请号：US13619120

申请日：2012-09-14

申请人： Jung-Kyu Lee ,  Yoon-Ho Khang ,  Se-Hwan Yu ,  Cheol-Kyu Kim ,  Yong-Su Lee ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Su-Hyoung Kang ,  Hyun-Jae Na ,  Young-Ki Shin

发明人： Jung-Kyu Lee ,  Yoon-Ho Khang ,  Se-Hwan Yu ,  Cheol-Kyu Kim ,  Yong-Su Lee ,  Chong-Sup Chang ,  Sang-Ho Park ,  Su-Hyoung Kang ,  Hyun-Jae Na ,  Young-Ki Shin

IPC分类号： H01L33/08

CPC分类号： H01L27/124 ,  G02F1/136286 ,  G02F2001/13629 ,  H01L27/1288

摘要： A display substrate includes a base substrate, a switching element, a gate line, a data line and a pixel electrode. Each of the gate line and the data line includes a first metal layer, and a second metal layer directly on the first metal layer. The switching element is on the base substrate, and includes a control electrode and an input electrode or an output electrode. The control electrode includes the first metal layer and excludes the second metal layer, and extends from the gate line. The input electrode or the output electrode includes a second metal layer and excludes the first metal layer. The input electrode extends from the data line. The pixel electrode is electrically connected to the output electrode of the switching element through a first contact hole, and includes a transparent conductive layer.

摘要翻译： 显示基板包括基底基板，开关元件，栅极线，数据线和像素电极。 栅极线和数据线中的每一个包括第一金属层和直接在第一金属层上的第二金属层。 开关元件在基底基板上，并且包括控制电极和输入电极或输出电极。 控制电极包括第一金属层，并且不包括第二金属层，并且从栅极线延伸。 输入电极或输出电极包括第二金属层，并且不包括第一金属层。 输入电极从数据线延伸。 像素电极通过第一接触孔电连接到开关元件的输出电极，并且包括透明导电层。