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发明授权
US08673541B2 Block copolymer assembly methods and patterns formed thereby 有权
由此形成的嵌段共聚物组合方法和图案

Block copolymer assembly methods and patterns formed thereby
摘要：
Patterned substrates templates are provided, as well as methods comprising a combination of lithography and self-assembly techniques. The patterned substrates may comprise first and second patterns.
摘要（中）：

提供了图案化的基底模板，以及包括光刻和自组装技术的组合的方法。 图案化衬底可以包括第一和第二图案。

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