发明授权
US09096922B2 Silicon layers formed from polymer-modified liquid silane formulations
有权
由聚合物改性液体硅烷配方形成的硅层
- 专利标题： Silicon layers formed from polymer-modified liquid silane formulations
- 专利标题（中）： 由聚合物改性液体硅烷配方形成的硅层
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申请号： US13503668申请日： 2010-10-18
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公开(公告)号： US09096922B2公开(公告)日： 2015-08-04
- 发明人: Bernhard Stuetzel , Matthias Patz
- 申请人： Bernhard Stuetzel , Matthias Patz
- 申请人地址： DE Essen
- 专利权人： Evonik Degussa GmbH
- 当前专利权人： Evonik Degussa GmbH
- 当前专利权人地址： DE Essen
- 代理机构： Oblon, McClelland, Maier & Neustadt, L.L.P.
- 优先权： DE102009053805 20091118
- 国际申请： PCT/EP2010/065598 WO 20101018
- 国际公布： WO2011/061029 WO 20110526
- 主分类号： H01L29/04
- IPC分类号： H01L29/04 ; H01L31/20 ; H01L31/036 ; H01L31/0376 ; H01L29/12 ; H01L31/0312 ; H01L29/76 ; H01L29/94 ; H01L31/062 ; H01L31/113 ; H01L31/119 ; C23C18/12 ; C23C18/14 ; H01L21/02
摘要：
The invention relates to a formulation which contains at least one silane and at least one carbon polymer in a solvent, and to the production of a silicon layer on a substrate which is coated with such a formulation.
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