发明授权
- 专利标题： Coating method, and method of forming organic layer using the same
- 专利标题（中）： 涂布方法和使用其形成有机层的方法
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申请号： US13961111申请日： 2013-08-07
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公开(公告)号： US09406885B2公开(公告)日： 2016-08-02
- 发明人: Jin-Han Park , Myeng-Woo Nam , Eui-Shin Shin , Sung-Gon Kim
- 申请人： Jin-Han Park , Myeng-Woo Nam , Eui-Shin Shin , Sung-Gon Kim
- 申请人地址： KR Yongin, Gyeonggi-do
- 专利权人： SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 当前专利权人： SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 当前专利权人地址： KR Yongin, Gyeonggi-do
- 代理机构： Lee & Morse, P.C.
- 优先权： KR10-2009-0102879 20091028
- 主分类号： B05D5/12
- IPC分类号： B05D5/12 ; H01L51/00 ; H01L21/67 ; H01L51/56
摘要：
A coating apparatus includes a stage supporting a coating target, a coating part on the stage, the coating part being configured to apply a coating material onto the coating target, and a heating source opposite to and spaced apart from the stage, the heating source being configured to supply heat to the coating target after application of the coating material onto the coating target.
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