发明授权
- 专利标题： Method for performing laser crystallization
- 专利标题（中）： 执行激光结晶的方法
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申请号： US14159386申请日： 2014-01-20
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公开(公告)号： US09460930B2公开(公告)日： 2016-10-04
- 发明人: Nang-Lyeom Oh , Je-Kil Ryu , Alexander Voronov , Gyoo-Wan Han
- 申请人： SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 申请人地址： KR Yongin, Gyeonggi-Do
- 专利权人： SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 当前专利权人： SAMSUNG DISPLAY CO., LTD.
- 当前专利权人地址： KR Yongin, Gyeonggi-Do
- 代理机构： F. Chau & Associates, LLC
- 优先权： KR10-2013-0081177 20130710
- 主分类号： H01L21/00
- IPC分类号： H01L21/00 ; H01L21/268 ; B23K26/06 ; H01L21/02
摘要：
A method for performing a laser crystallization is provided. The method includes generating a laser beam, refracting the laser beam to uniformize an intensity of the laser beam at a focal plane of the laser beam. The laser beam whose intensity is uniformized is applied into an object substrate mounted with a stage.
公开/授权文献
- US20150017816A1 METHOD FOR PERFORMING LASER CRYSTALLIZATION 公开/授权日：2015-01-15
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