发明授权
US09476746B2 Miniaturized sensor comprising a heating element, and associated production method
有权
微型传感器包括加热元件和相关联的制造方法
- 专利标题： Miniaturized sensor comprising a heating element, and associated production method
- 专利标题（中）： 微型传感器包括加热元件和相关联的制造方法
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申请号： US14232040申请日： 2012-07-12
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公开(公告)号： US09476746B2公开(公告)日： 2016-10-25
- 发明人: Romain Viard , Abdelkrim Talbi , Philippe Jacques Pernod , Alain Merlen , Vladimir Preobrazhensky
- 申请人： Romain Viard , Abdelkrim Talbi , Philippe Jacques Pernod , Alain Merlen , Vladimir Preobrazhensky
- 申请人地址： FR Paris FR Villeneuve d'Ascq
- 专利权人： Centre National de la Recherche Scientifique,Ecole Centrale de Lille
- 当前专利权人： Centre National de la Recherche Scientifique,Ecole Centrale de Lille
- 当前专利权人地址： FR Paris FR Villeneuve d'Ascq
- 代理机构： Alston & Bird LLP
- 优先权： FR1156409 20110713
- 国际申请： PCT/IB2012/053578 WO 20120712
- 国际公布： WO2013/008203 WO 20130117
- 主分类号： G01F1/688
- IPC分类号： G01F1/688 ; B81B3/00 ; G01F1/684 ; G01L21/12 ; H01L41/316 ; H01L41/332
摘要：
The invention relates to a miniaturized sensor having a heating element, and to an associated production method. The sensor includes a substrate, a cavity and a heat-insulating structure suspended above the cavity by areas connecting to the substrate. The heat-insulating structure includes at least two bridges extending above the cavity, the heating element being supported by said bridges, extending transversely thereto.
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