公开(公告)号：US09476746B2

公开(公告)日：2016-10-25

申请号：US14232040

申请日：2012-07-12

申请人： Romain Viard ,  Abdelkrim Talbi ,  Philippe Jacques Pernod ,  Alain Merlen ,  Vladimir Preobrazhensky

发明人： Romain Viard ,  Abdelkrim Talbi ,  Philippe Jacques Pernod ,  Alain Merlen ,  Vladimir Preobrazhensky

IPC分类号： G01F1/688 ,  B81B3/00 ,  G01F1/684 ,  G01L21/12 ,  H01L41/316 ,  H01L41/332

CPC分类号： G01F1/688 ,  B81B3/0081 ,  B81B2201/0264 ,  B81B2201/0292 ,  B81B2203/0109 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/6882 ,  G01L21/12 ,  H01L41/316 ,  H01L41/332

摘要： The invention relates to a miniaturized sensor having a heating element, and to an associated production method. The sensor includes a substrate, a cavity and a heat-insulating structure suspended above the cavity by areas connecting to the substrate. The heat-insulating structure includes at least two bridges extending above the cavity, the heating element being supported by said bridges, extending transversely thereto.

摘要翻译： 本发明涉及一种具有加热元件的微型传感器，以及相关的生产方法。 传感器包括基板，空腔和隔热结构，该结构通过连接到基板的区域悬挂在空腔上方。 隔热结构包括在空腔上方延伸的至少两个桥，加热元件由所述桥支撑，横向延伸。

公开(公告)号：US08978462B2

公开(公告)日：2015-03-17

申请号：US13640621

申请日：2011-04-11

申请人： Philippe Jacques Pernod ,  Leticia Gimeno Monge ,  Abdelkrim Talbi ,  Alain Merlen ,  Romain Victor Jean Viard ,  Vincent Mortet ,  Ali Soltani ,  Vladimir Preobrazhensky

发明人： Philippe Jacques Pernod ,  Leticia Gimeno Monge ,  Abdelkrim Talbi ,  Alain Merlen ,  Romain Victor Jean Viard ,  Vincent Mortet ,  Ali Soltani ,  Vladimir Preobrazhensky

IPC分类号： G01F1/68 ,  G01F1/69 ,  G01F1/684 ,  G01F1/692 ,  G01P5/12

CPC分类号： G01F1/69 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  G01P5/12 ,  Y10T29/49156

摘要： The invention relates to a submillimeter-sized hot-wire sensor (1) comprising a substrate (10), two support rods (11, 12), a metal wire (13) extending between the two ends of the support rods (11, 12), and electrical contacts (14, 15) disposed on the support rods, said contacts each being linked to one of the ends of the wire (13). The metal wire comprises at least two layers of metal materials, one of said layers being made of a material exhibiting a residual stress under tension and the other layer being made of a material exhibiting a residual stress under compression. The thicknesses of these metal layers are adapted so as to compensate the residual stresses between the various layers.

摘要翻译： 本发明涉及一种亚毫米级的热丝传感器（1），其包括基底（10），两个支撑杆（11,12），金属线（13），其在支撑杆（11,12）的两端之间延伸 ）和设置在支撑杆上的电触头（14,15），所述触头各自连接到导线（13）的一个端部。 金属线包括至少两层金属材料，其中一层由在张力下表现出残余应力的材料制成，另一层由在压缩下表现出残余应力的材料制成。 这些金属层的厚度适于补偿各层之间的残余应力。

公开(公告)号：US20130125644A1

公开(公告)日：2013-05-23

申请号：US13640621

申请日：2011-04-11

申请人： Philippe Jacques Pernod ,  Leticia Gimeno Monge ,  Abdelkrim Talbi ,  Alain Merlen ,  Romain Victor Jean Viard ,  Vincent Mortet ,  Ali Soltani ,  Vladimir Preobrazhensky

发明人： Philippe Jacques Pernod ,  Leticia Gimeno Monge ,  Abdelkrim Talbi ,  Alain Merlen ,  Romain Victor Jean Viard ,  Vincent Mortet ,  Ali Soltani ,  Vladimir Preobrazhensky

IPC分类号： G01F1/69

CPC分类号： G01F1/69 ,  G01F1/6845 ,  G01F1/692 ,  G01P5/12 ,  Y10T29/49156

摘要： The invention relates to a submillimeter-sized hot-wire sensor (1) comprising a substrate (10), two support rods (11, 12), a metal wire (13) extending between the two ends of the support rods (11, 12), and electrical contacts (14, 15) disposed on the support rods, said contacts each being linked to one of the ends of the wire (13). The metal wire comprises at least two layers of metal materials, one of said layers being made of a material exhibiting a residual stress under tension and the other layer being made of a material exhibiting a residual stress under compression. The thicknesses of these metal layers are adapted so as to compensate the residual stresses between the various layers.

摘要翻译： 本发明涉及一种亚毫米级的热丝传感器（1），其包括基底（10），两个支撑杆（11,12），金属线（13），其在支撑杆（11,12）的两端之间延伸 ）和设置在支撑杆上的电触头（14,15），所述触头各自连接到导线（13）的一个端部。 金属线包括至少两层金属材料，其中一层由在张力下表现出残余应力的材料制成，另一层由在压缩下表现出残余应力的材料制成。 这些金属层的厚度适于补偿各层之间的残余应力。