半导体激光元件实现了高光束质量（指标M2 <1）。 衍射光栅层6的衍射光栅6ba沿主表面2a延伸并设置在衍射光栅层6的p侧表面6a上; 衍射光栅层6的折射率在衍射光栅6ba中沿主表面2a延伸的方向周期性地变化; 衍射光栅6ba具有多个孔6b; 多个孔6b设置在p侧表面6a中并且沿着正方形格子R3平移对称地布置; 多个孔6b各自具有相同的尺寸和形状; 每个孔6b对应于衍射光栅6ba的晶格点，并且具有三棱柱形状; 孔6b的底面6c的形状为近似的直角三角形。