- 专利标题： Microfabricated optical apparatus
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申请号： US14931883申请日： 2015-11-04
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公开(公告)号： US09608731B2公开(公告)日： 2017-03-28
- 发明人: Christopher S. Gudeman
- 申请人： Innovative Micro Technology
- 申请人地址： US CA Goleta
- 专利权人： Innovative Micro Technology
- 当前专利权人： Innovative Micro Technology
- 当前专利权人地址： US CA Goleta
- 代理商 Jaquelin K. Spong
- 主分类号： H04B10/516
- IPC分类号： H04B10/516 ; H01S5/022 ; G02B27/09 ; H01S5/00 ; H01S5/40
摘要：
A microfabricated optical apparatus that includes a light source driven by a waveform, a turning mirror, and a beam shaping element, wherein the waveform is delivered to the light source by at least one through silicon via.
公开/授权文献
- US20160126696A1 MICROFABRICATED OPTICAL APPARATUS 公开/授权日：2016-05-05
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